Network Design for Wafer-Scale Systems with Wafer-on-Wafer Hybrid Bonding

Authors: Patrick Iff, Tommaso Bonato, Maciej Besta, Luca Benini, Torsten Hoefler(ETH Zurich) arXiv: 2603.05266(2026-03-05) Venue: arXiv cs.AR 预印本。abs 页模板写 Design Automation Conference / 2025-07 Long Beach,未独立核实,按 2026-03-05 预印本引用。 PDF: Network_Design_Wafer_Scale_WoW_Hybrid_Bonding_2026.pdf Code: https://github.com/spcl/nw-design-for-wsi

中文摘要

晶圆对晶圆(WoW)hybrid bonding(如 TSMC SoIC-WoW)把两片已曝光 reticle 的晶圆面对面键合:同晶圆相邻 reticle 不能直连,网络只能由对侧重叠 reticle 的垂直 hybrid bond 长成。本文把 reticle 放置当作拓扑设计变量,从近似 2D mesh 的 baseline 出发,提出 Aligned / Interleaved / Rotated(Logic-on-Interconnect)与 Contoured(Logic-on-Logic)四种放置,把每 reticle 邻居数从 4 提到最高 7,从而缩短平均路径。BookSim2 周期精确仿真显示,相对 mesh-like baseline,吞吐最高提升 250%、延迟最高降 36%、每传输字节能量最高降 38%;Llama-7B 训练 trace 上平均延迟降到 baseline 的 60%。

Motivation

通信带宽跨层级断崖:片上 TB/s → NVLink ≈900 GB/s → NDR InfiniBand ≈100 GB/s。摩尔/Dennard 减速后,WSI 通过放大物理芯片本身缓解搬运。既有 WSI 三条路:

路线代表同层相邻 die/reticle
Chiplet-on-fanoutTesla Dojo(25×645 mm² D1)板级/扇出互连,需 PHY
Field stitchingCerebras WSE曝光重叠缝出连续金属
WoW hybrid bondingTSMC SoIC-WoW(本文)同晶圆不能直连,只连对侧重叠区

HB pitch 量产 <10 μm、研究原型 1 μm,电气特性接近上层金属,不需要 D2D PHY。因此拓扑被几何重叠硬约束——这是 wiki 已有 field-stitch mesh(WSE)与 chiplet NoC 都没覆盖的设计空间。概念入口见 Network-on-Wafer

Approach

  1. 集成层次:Logic-on-Interconnect(只有顶片有 GPU-like reticle,底片纯互连,热管理简单)vs Logic-on-Logic(两片都有算力,功耗/热仍是挑战)。
  2. 几何:200/300 mm;矩形网格 vs 最大填充。WoW 无切割道,模型省略 inter-reticle spacing。
  3. 网络抽象:每 compute reticle 收成一个路由器(本地 GPC NoC 折叠);虫孔 + credit;Dijkstra 最短路 + SCB(任意拓扑 turn-model)无死锁;选择函数随机或局部自适应(看邻居 input buffer 余量)。
  4. 放置
    • Baseline:互连 reticle 半格错位,近似 2D mesh,radix-4。
    • Aligned / Interleaved:互连 reticle 转 90°,一个互连 reticle 连最多 6 个 compute,互连片更少。
    • Rotated:互连 reticle 缩到 22.98×32.53 mm 并转 45°,radix-7(穷举整数位置/旋转未找到更高 radix);重叠仍可支撑最高 6 TB/s(10 μm pitch 假设)。
    • Contoured(仅 LoL):下片 H 形、上片十字,radix-5;为保 2 TB/s 链路,轮廓后面积仍为光罩极限的 98.5%。
  5. 评测:BookSim2(四段流水、32-flit buffer、单 VC);Orion3.0 + DeepScaleTool 缩到 7 nm;链路 2 TB/s @ 1 GHz、每 2 mm 一级流水;合成流量(uniform / permutation / neighbor / tornado)+ ATLAHS Llama-7B 训练 GOAL trace(消息切 2 KB packet)。

Results(仅论文数字)

拓扑表(300 mm、最大利用率、LoI):Baseline 64 compute / 直径 18 / 平均路径 7.45 hop / 二分带宽 26.00;Rotated 66 compute / 直径 10 / 平均路径 4.76 / 二分带宽 64.20。

指标相对 mesh-like baseline
饱和吞吐最高 +250%
零负载延迟最高 -36%
每字节能量最高 -38%
Llama-7B 训练 trace 平均延迟降到 baseline 的 60%,最好 37%

补充:Rotated 在几乎所有架构/流量上优于 baseline;Aligned/Interleaved 在最大利用率下稳定增益,矩形网格 + tornado/neighbor 可能不及 baseline。自适应选择略增吞吐、延迟相近。路由器只占 reticle 很小面积;饱和时网络功耗约 4 kW(对照文献 15 kW 晶圆预算)。2 TB/s 双向链路在 10 μm pitch、1 GHz 下约需 3.2 mm² 重叠。

Relation to wiki

开放问题

  1. Rotated 的 45° 互连 reticle 与非矩形 Contoured 在真实光刻/对准/良率上是否可制造?论文未给工艺良率数据。
  2. LoL 的热/供电(thermal TSV、微流道冷却)何时使双算力晶圆可行?作者预期“数年”。
  3. 集体通信(AllReduce / All-to-All)在这些不规则拓扑上如何映射?本文用合成流量 + Llama-7B 消息 trace,没有集体专用算法。
  4. FlooNoC collectives / FRED Clos-like WSI 的定量对照仍缺——论文指出 Clos-like 在 WoW 几何下不可行。

Citations

[1] Network_Design_Wafer_Scale_WoW_Hybrid_Bonding_2026.pdf — Iff et al., arXiv:2603.05266 [2] network-design-wafer-scale-wow-hybrid-bonding.md — 结构化摘录